شفاه MFC، مكونات مرشح التركيب السطحي، معايير التصميم وفقًا لـ ASME B31.3
المواد المستخدمة هي مادة الفولاذ المقاوم للصدأ 316L أو 316L VAR وفقًا لـ ASTM A479ISEMI F20
السطح المصقول بالكهرباء يتوافق مع SEMI F19
معالجة التخميل وفقًا لمعيار ASTM A967
تتوافق معايير الغرفة النظيفة لتنظيف التجميع والاختبار والتعبئة مع ISO 14644