MFC фланци, филтърни компоненти за повърхностен монтаж, стандарти за проектиране съгласно ASME B31.3
Материалът използва материал от неръждаема стомана 316L или 316L VAR в съответствие с ASTM A479ISEMI F20
Електрополираната повърхност отговаря на SEMI F19
Пасивна обработка ref. към ASTM A967
Стандартите за чисти помещения за сглобяване, тестване и опаковка за почистване са в съответствие с ISO 14644