MFC prirubnice, komponente filtera za površinsku montažu, standardi dizajna prema ASME B31.3
Za materijal se koristi materijal od nerđajućeg čelika 316L ili 316L VAR u skladu sa ASTM A479ISEMI F20
Elektropolirana površina u skladu sa SEMI F19
Pasivacioni tretman ref. prema ASTM A967
Standardi čistih soba za montažu, testiranje i pakovanje u skladu su sa ISO 14644