MFC-flanger, overflademonterede filterkomponenter, designstandarder i henhold til ASME B31.3
Materialet bruger 316L eller 316L VAR rustfrit stålmateriale i overensstemmelse med ASTM A479ISEMI F20
Elektropoleret overflade er i overensstemmelse med SEMI F19
Passiveringsbehandling ref. til ASTM A967
Renrumsstandarderne for rengøring af samling, test og emballage er i overensstemmelse med ISO 14644