MFC-Flansche, Oberflächenmontage-Filterkomponenten, Konstruktionsnormen gemäß ASME B31.3
Das Material besteht aus Edelstahl 316L oder 316L VAR gemäß ASTM A479ISEMI F20.
Elektropolierte Oberfläche entspricht SEMI F19
Passivierungsbehandlung gemäß ASTM A967
Die Reinraumstandards für Reinigung, Montage, Prüfung und Verpackung entsprechen der ISO 14644