MFC karimák, felületre szerelhető szűrőelemek, tervezési szabványok az ASME B31.3 szerint
Az anyag 316L vagy 316L VAR rozsdamentes acél anyagot használ az ASTM A479ISEMI F20 szabványnak megfelelően
Az elektropolírozott felület megfelel a SEMI F19 szabványnak
Passziválási kezelés ref. ASTM A967-hez
A tisztítási összeszerelésre, tesztelésre és csomagolásra vonatkozó tisztatéri szabványok megfelelnek az ISO 14644 szabványnak