Flensa MFC, komponen filter pemasangan permukaan, standar desain menurut ASME B31.3
Bahan menggunakan bahan baja tahan karat 316L atau 316L VAR sesuai dengan ASTM A479ISEMI F20
Permukaan yang dipoles secara elektro mematuhi SEMI F19
Perawatan pasivasi mengacu pada ASTM A967
Standar ruang bersih untuk pembersihan, perakitan, pengujian, dan pengemasan mematuhi ISO 14644