Flange MFC, componenti di filtri a montaggio superficiale, standard di progettazione secondo ASME B31.3
Il materiale utilizza acciaio inossidabile 316L o 316L VAR conforme alla norma ASTM A479ISEMI F20
Superficie elettrolucidata conforme a SEMI F19
Trattamento di passivazione rif. ASTM A967
Gli standard della camera bianca per la pulizia, l'assemblaggio, il collaudo e l'imballaggio sono conformi alla norma ISO 14644