MFC прирабници, компоненти на филтер за површинска монтажа, стандарди за дизајн според ASME B31.3
Материјалот користи 316L или 316L VAR материјал од нерѓосувачки челик во согласност со ASTM A479ISEMI F20
Електополираната површина е во согласност со SEMI F19
Третман на пасивација ref. до ASTM A967
Стандардите за чиста соба за склопување, тестирање и пакување за чистење се во согласност со ISO 14644