MFC-flenzen, oppervlaktemontagefiltercomponenten, ontwerpnormen volgens ASME B31.3
Het materiaalgebruik is 316L of 316L VAR roestvrij staal in overeenstemming met ASTM A479ISEMI F20
Elektrolytisch gepolijst oppervlak voldoet aan SEMI F19
Passiveringsbehandeling volgens ASTM A967
De cleanroomnormen voor het reinigen, monteren, testen en verpakken voldoen aan ISO 14644