Flanges MFC, componentes de filtro de montagem em superfície, padrões de projeto de acordo com ASME B31.3
O material usa aço inoxidável 316L ou 316L VAR de acordo com ASTM A479ISEMI F20
Superfície eletropolida em conformidade com SEMI F19
Tratamento de passivação ref. ASTM A967
Os padrões de sala limpa para limpeza, montagem, teste e embalagem estão em conformidade com a norma ISO 14644