Flanșe MFC, componente ale filtrului cu montare la suprafață, standarde de proiectare conform ASME B31.3
Materialul folosește material din oțel inoxidabil 316L sau 316L VAR în conformitate cu ASTM A479ISEMI F20
Suprafața electrolustruită este conformă cu SEMI F19
Tratament de pasivare ref. conform ASTM A967
Standardele camerelor curate pentru curățarea ansamblului, testarii și ambalajului sunt conforme cu ISO 14644