Фланцы MFC, компоненты фильтра для поверхностного монтажа, стандарты проектирования в соответствии с ASME B31.3
В качестве материала используется нержавеющая сталь марки 316L или 316L VAR в соответствии со стандартом ASTM A479ISEMI F20.
Электрополированная поверхность соответствует SEMI F19
Пассивация согласно ASTM A967
Стандарты чистых помещений для очистки, сборки, тестирования и упаковки соответствуют ISO 14644.