MFC-flänsar, ytmonterade filterkomponenter, designstandarder enligt ASME B31.3
Materialet använder 316L eller 316L VAR rostfritt stålmaterial i enlighet med ASTM A479ISEMI F20
Elektropolerad yta överensstämmer med SEMI F19
Passiveringsbehandling ref. till ASTM A967
Renrumsstandarderna för rengöring av montering, testning och förpackning uppfyller ISO 14644