หน้าแปลน MFC ส่วนประกอบตัวกรองแบบติดตั้งบนพื้นผิว มาตรฐานการออกแบบตาม ASME B31.3
วัสดุใช้วัสดุสแตนเลส 316L หรือ 316L VAR ตามมาตรฐาน ASTM A479ISEMI F20
พื้นผิวขัดเงาด้วยไฟฟ้าเป็นไปตามมาตรฐาน SEMI F19
การบำบัดแบบ Passivation อ้างอิง ASTM A967
มาตรฐานห้องสะอาดสำหรับการทำความสะอาด การประกอบ การทดสอบ และบรรจุภัณฑ์ เป็นไปตาม ISO 14644