MFC flanges, surface mount filter component, mga pamantayan sa disenyo ayon sa ASME B31.3
Ang materyal ay gumagamit ng 316L o 316L VAR na hindi kinakalawang na asero na materyal alinsunod sa ASTM A479ISEMI F20
Ang electopolished surface ay sumusunod sa SEMI F19
Pasivation treatment ref. sa ASTM A967
Ang mga pamantayan sa malinis na silid para sa paglilinis ng pagpupulong, pagsubok at pakete ay sumusunod sa ISO 14644