MFC flanşları, yüzeye monte filtre bileşenleri, ASME B31.3'e göre tasarım standartları
Malzeme ASTM A479ISEMI F20'ye uygun 316L veya 316L VAR paslanmaz çelik malzeme kullanır
Elektropolisajlı yüzey SEMI F19'a uygundur
ASTM A967'ye göre pasifleştirme işlemi
Temiz oda temizlik, montaj, test ve paketleme standartları ISO 14644 ile uyumludur