Фланці MFC, компоненти фільтра для поверхневого монтажу, стандарти проектування відповідно до ASME B31.3
Матеріал використовує нержавіючу сталь 316L або 316L VAR відповідно до ASTM A479ISEMI F20
Електрополірована поверхня відповідає SEMI F19
Обробка пасивації ref. відповідно до ASTM A967
Стандарти чистих приміщень для збирання, тестування та упаковки відповідають стандарту ISO 14644