Mặt bích MFC, linh kiện lọc gắn bề mặt, tiêu chuẩn thiết kế theo ASME B31.3
Vật liệu sử dụng vật liệu thép không gỉ 316L hoặc 316L VAR theo tiêu chuẩn ASTM A479ISEMI F20
Bề mặt được đánh bóng bằng điện tuân thủ theo tiêu chuẩn SEMI F19
Xử lý thụ động tham khảo ASTM A967
Tiêu chuẩn phòng sạch cho lắp ráp, thử nghiệm và đóng gói vệ sinh tuân thủ theo ISO 14644